Ионная Откачка краткая биография(статья) в Большом энциклопедическом интернет словаре

, способ получения вакуума, основанный на ионизации откачиваемого газа и перемещении ионов электрическим полем в область, где они нейтрализуются и удаляются (поглощаются).

В других словарях:
...